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보고서설명
Michael Quirk 반도체 소자 공정기술
전자공학과 반도체공학 과목 1~10장 중요문제 및 해설 입니다.
중간고사 및 기말고사 대비 문제들입니다.
본문일부/목차
1장 반도체 산업의 전망
2장 반도체 물질의 특성
3장 소자기술
4장 실리콘과 웨이퍼 제조
5장 반도체 제조공정에서의 화학물질
6장 웨이퍼 제조공정 설비에서의 오염 제어
7장 도량형학과 결함 검사
8장 공정실의 가스제어
9장 IC 제조공정의 개관
10장 산화공정
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#반도체공학

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