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AES(Auger Electron Spectroscopy)의 원리와 구성
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AES.hwp
- 등록인 cheonhoo
- 등록/수정일 12.03.31 / 12.03.31
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- AES(Auger Electron Spectroscopy)의 원리와 구성에 관한 레포트
AES/SAM(Auger Electron Spectroscopy /Scanning Auger Microscopy)은 수 백 Angstrom 크기로 집속된 전자 빔을 재료의 표면에 입사시켜 방출되는 Auger 전자의 에너지를 측정하여 재료 표면을 구성하고 있는 원소의 종류 및 양을 분석해내는 표면 분석 장비이다.
- 본문일부/목차
- AES(Auger Electron Spectroscopy)
(1) 기본원리
(2) AES/SAM의 구조
1. Electron Gun
2. Energy Analyzer
3. UHV chamber (10-10 torr)
4. Ion gun
(3) AES분석의 종류
1. Auger Image Mapping
2. Auger Spectra
1)정성 분석
2)정량 분석
3. Auger Point Analysis
4. Auger Line Scan
5. 수직분포 분석(Depth Profiling)
1)기기적 인자
2)Sample의 특성에 따른 요인
(4) 충전효과(charging effect)
1. 충전효과의 제거방법은
(5) 주요 적용 범위
(6) 시료 준비
(7) 장점과 단점
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