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  • 공학,기술계열

  • [신소재] SEM의 원리와 구성

  • SEM예비.hwp
  • 등록인 cheonhoo
  • 등록/수정일 10.01.12 / 10.01.12
  • 문서분량 3 페이지
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보고서설명
학교 실험레포트로써 SEM의 원리와 구성에 대하여 쓴 레포트입니다 [참고자료] 주사현미경의 기초/황인옥/반도출판사 3~28P
투과전자현미경학 개론/성창모/반도출판사 10~20P
본문일부/목차
(1) Gun+filament
1)열전자 방사형 전자총

2)전계 방사형 전자총 (FE E.Gun)
(2) Lens
(3) Detector
(4) 전자가 sample과 충돌하였을 때 일어나는 현상(X-ray, Auger E etc)
Referece
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