: Photolithography를이용한pattern형성 2.실험목적 : Photolithography에 사용하는 각 공정의 원리와 공정시 주의점을 알 수 있다. 3.실험기구, 장비, 재료 : -Cr 증착된 기판 -Developer, Stripper, Cr etchant
1. 포토리소그래피(Photolithography) ⅰ) 포토리소그래피(Photolithography)란? ⅱ) 포토리소그래피(Photolithography) 공정 과정 b) Type of Photoresist(PR) c) Soft Bake d) Hard Bake e)...