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레포트 (21)
    • 공학,기술계열
    • 2012/08/10 leewk2547 4 페이지 1,600원 다운 0회 구매평가 
    • 스퍼터링(sputtering) 현상은 1852년 Grove에 의하여 처음 발견되었으며[3], 현재는 여러 가지 박막의 형성에 광범위하게 사용되어지고 있다. 스퍼터링(sputtering)은 높은에너지(> 30 eV)를 가진 입자들이 target에...
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