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    • 공학,기술계열
    • 2015/03/16 leewk2547 4 페이지 2,000원 다운 1회 구매평가 
    • 금속을 증착시키는 공정인 ‘Metal deposition’을 실시하여 기판의 면저항을 측정한다. 증착시키는 금속을 Ni로 증착 두께를 10nm, 20nm, 30nm로 변화를 주어 증착 두께를 조정함에 따라 제품의 면저항에 어떤...
    • 공학,기술계열
    • 2015/03/16 leewk2547 3 페이지 2,000원 다운 0회 구매평가 
    • 공정에서 ‘Metal deposition’을 실시한 후 실리콘 기판 위에 규소화합물(Silicide)를 구성하기 위하여 내열성 금속과 실리콘을 합금하는 과정을 실시한다. 이 때 RTP를 통해 어닐링을 실시한다. 어닐링 시간을...
    • 공학,기술계열
    • 2013/12/27 leewk2547 5 페이지 2,000원 다운 0회 구매평가 
    • Ⅰ 실험목표 진공 상에서의 물질의 증착을 이해하고, 압력에 따라 변화하는 챔버 안의 증발 분자량을 계산한다. Ⅱ 실험 이론 ① 압력 단위 환산 1atm = 101325Pa = 1.01325bar = 760mmHg(torr) = 14.696 psi
    • 공학,기술계열
    • 2013/12/11 leewk2547 7 페이지 2,000원 다운 2회 구매평가 
    • IC(집적회로) 등의 제조공정에서 기판 위에 규소 등의 박막을 만드는 공업적 수법으로 약칭은 CVD이다. 화학물질을 포함하는 가스에 열이나 빛으로 에너지를 가하거나, 고주파로 플라스마화시키면 원료물질이...
    • 공학,기술계열
    • 2012/05/07 lerne 4 페이지 500원 다운 0회 구매평가 
    • 한양대 2010년 재료공학실험 예비레포트 입니다. 이미지 2개가 들어가 있고 일본에서 SOFC(고체 산화물 연료 전지)에 대해 대중용으로 쉽게 설명한 책을 참고로 한 내용이라 실험에 들어가기 전에 EDS가 무엇인지,...
    • 공학,기술계열
    • 2012/05/07 lerne 4 페이지 500원 다운 0회 구매평가 
    • 한양대 2010년 재료공학실험 예비레포트 입니다. 이미지 2개가 들어가 있고 일본에서 SOFC(고체 산화물 연료 전지)에 대해 대중용으로 쉽게 설명한 책을 참고로 한 내용이라 실험에 들어가기 전에 EDS가 무엇인지,...
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