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    • 자연과학계열
    • 2012/05/29 leewk2547 4 페이지 1,200원 다운 0회 구매평가 
    • : Photolithography를 이용한 pattern형성 2.실험목적 : Photolithography에 사용하는 각 공정의 원리와 공정시 주의점을 알 수 있다. 3.실험기구, 장비, 재료 : -Cr 증착된 기판 -Developer, Stripper, Cr etchant
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