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    • 사회과학계열
    • 2015/02/16 leewk2547 6 페이지 2,000원 다운 0회 구매평가 
    • 스퍼터링(Sputtering)는 집적회로 생산라인 공정에서 많이 쓰이는 진공 증착법의 일종으로 비교적 낮은 진공도에서 플라즈마를 이온화된 아르곤등의 가스를 가속하여 타겟에 충돌. 원자를 분출시켜 웨이퍼 기판상에...
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