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- 공학,기술계열
- [신소재 기초실험] 산화공정
- 2012/05/17 leewk2547 4 페이지 1,200원 다운 1회 구매평가
- 제목 : 산화 공정 (Oxidation) 목적 : 반도체 소자 제조 공정 중 하나로 고온에서 산소나 수증기를 주입시키고 열을 가해실리콘 웨이퍼 표면에 얇고 균일한 실리콘 산화막을 형성 시키는 공정이다. 실리콘산화막은...

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